Geschäftsbereich Plasma-Anlagen
Der Geschäftsbereich Plasma-Anlagen, in dem
Anlagen für kundenspezifische Lösungen entwickelt, konstruiert und gebaut
werden, ging aus dem Kerngeschäft der früheren TePla AG in München hervor.
Anwendungsschwerpunkt ist das Oberflächen-Engineering von Material-Oberflächen
mittels Plasma, um bestimmte Eigenschaften gezielt zu verändern.
Hierdurch können wir unseren Kunden einzigartige Prozesse zur
Material-Veredelung und -Reinigung bieten im
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Halbleiter - Markt sowie im |
Industriellen- und medizin-technischen Markt |
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| Halbleiter und Fotomasken | Datenspeicher | Oberflächenhärtung |
| MEMS | Automobil: Verklebungen / Dichtungen | Sterilisation |
| Verbindungs-Halbleiter | Elektronik: Verklebung / Abdichtung | Plasma-Polymerisation |
| Displays (OLED, PLED) | Bio-Kulturen | |
| Solarzellen | ||
| Ultra-Dünne Wafer | ||
| Chip Packaging | ||
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