Halbleiter

Die hoch innovative Chip-Industrie erfordert ständig neue Materialien und Technologien für:


  • höhere Rechnerleistungen
  • schnellere Verbindungen
  • größere Speicherkapazitäten

Die PVA TePla bietet für den Halbleiter-Markt eine ganze Reihe hoch innovativer Schlüsseltechnologien, insbesondere in den Bereichen Kristallzucht, Oberflächen-Engineering und Messtechnik.






Vakuumanlagen

 

graphite, graphite cleaning, graphite purification, graphite treating, debinding, reduction, degassing, hard metal, hard metal sintering, hot zone, cfc, cfc treating, epitaxy, purification
COV Wärmebehandlungsanlage mit Heizleiter aus Graphit


Wärmebehandlungsanlagen der Baureihe COV sind besonders leistungsfähige Anlagen mit großem Arbeitstemperaturbereich. Sie sind durch den Einsatz verschiedenster Gase und aufgrund vollautomatisierter Prozeßabläufe speziell für den ... mehr mehr



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Kristallzuchtanlagen



Typ EKZ 3500
Typ EKZ 3500


Die EKZ 3500/200 wird für die Produktion von Kristallen mit bis zu 200mm Durchmesser eingesetzt. Die typischen Chargengewichte liegen zwischen 120 und 150kg, jeweils abhängig von der eingesetzten Heizeinrichtung und Nachchargiereinrichtung zur Erhöhung der Einwaage ... sd mehr
   


Typ EKZ 3000
Typ EKZ 3000


Im Vergleich zu den bisherigen Tiegelziehanlagen ist mit dem Konzept und der Ausführung der 300mm-Anlage ein Quantensprung gelungen. Die Anlage wurde unter Berücksichtigung aller bis dahin gesammelten Erkenntnisse und enger Einbeziehung des Know How’s unserer weltweiten Kunden entwickelt. Diese Anlagen erfüllen ausnahmslos ... sd mehr
   


Typ FZ 14
Typ FZ 14


This machine is an intelligently designed piece of equipment, which in addition to meet the requirements in silicon crystal growing at diameters up to 4 inch and at the same time with reasonable physical dimensions. The machine have a crystal growing length of 1300 mm and produces 3" crystals up to ... mehr mehr
   

 
Typ FZ 14 M
Typ FZ 14 M


For analytical purposes, the FZ-14M has been developed. This a is a floatzone Silicon crystal grower specifically designed in accordance with the requirements of ASTM Std. F1723-96. The FZ-14M converts minature rods of polycrystalline silicon into monocrystalline silicon for use in the assessment of the ... sd mehr
   


Typ FZ 30
Typ FZ 30


The FZ-30 consists of a main, upper and lower chamber and an upper and lower pulling arrangement, all built as modules. The FZ-30 is fully equipped with access doors, a tank circuit, a control panel, a high frequency generator, a data logging system and an operator’s platform ... sd mehr
   


Typ Delta
Typ Delta


Die Niederdruck-/Niedertemperatur-Anlage ist für Chemical Vapor Deposition (CVD) von SiGe oder SiGe:C auf Silizium-Wafern von 200 und 300mm Durchmesser konzipiert. Das modular aufgebaute System mit vertikal angeordnetem Reaktor ist für den Kassette-zu-Kassette-Betrieb vorgesehen ... df mehr
   


Typ SR 110
Typ SR 110


This machine is very effective since two slim rods are produced at the same time, using a double hole HF-coil connected to one generator. Every care has been taken to make the machine very operator friendly and to allow fast restart of pulling after harvest of the produced slimrods ... sd mehr
   


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Plasmaanlagen

Der Produktbereich Plasma Systems, entstanden aus der früheren TePla AG, München, konstruiert, entwickelt und fertigt Seriengeräte und kundenspezifische Plasmaanlagen zur Oberflächenreinigung und -aktivierung, mit speziellem Fokus auf die Halbleitertechnik, Solarzellenfertigung, organische Elektronik und Anwendungen in der Industrie und Medizintechnik.

Finden Sie mehr hierzu auf der Homepage unseres Produktbereichs Plasma Systems:

www.tepla.com


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Ultraschall-Messsysteme

 
PVA TePla bietet ebenso Ultraschall-Messsysteme zur zerstörungsfreien Inspektion von High Tech Materialien. Finden Sie mehr hierzu auf der Homepage unserer Tochtergesellschaft PVA TePla Analytical Systems:

www.pva-analyticalsystems.com