Messsysteme

Für die Qualitätskontrolle von Materialien bietet die PVA TePla eine Reihe von optischen und ultraschallbasierenden Inspektionssystemen an.




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Wafermetrologie

PVA TePla AG bietet verschiedene Metrologie Systeme für die Überwachung von Fertigungsprozessen in der modernen Halbleiterindustrie: Das SIRD System zum erkennen und auswerten von Scherstress auf Wafern, Geräte zur Defekt-Erkennung auf Wafern und Ingots durch Ultraschall Mikroskopie sowie dem TWIN System zur Kontrolle des Implantprozesses. Alle unserer Systeme sind 300mm fähig und können vollständig automatisiert werden. Sie entsprechen den Klasse 1 Reinraum Anforderungen und erfüllen die SEMI standards S2 und S8.

 
Finden Sie mehr hierzu auf der Homepage unseres Produktbereichs Plasma Systems:

 

  www.tepla.com

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Ultraschall-Messsysteme

PVA TePla bietet ebenso Ultraschall-Messsysteme zur zerstörungsfreien Inspektion von High Tech Materialien. Finden Sie mehr hierzu auf der Homepage unserer Tochtergesellschaft PVA TePla Analytical Systems:

     www.pva-analyticalsystems.com