Produkte

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Unsere Systeme bieten Ihnen Lösungen für die unterschiedlichsten Anwendungen und Bereiche.

 

 



Vakuumanlagen

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Die Kernkompetenz von PVA TePla sind Systeme zum Vakuum- und Drucksintern von Hartmetallen. Die dafür konzipierten COD-Anlagen sind auch hervorragend geeignet zum Sintern von ... mehr
   




Kristallzuchtanlagen

Kristallzucht-Anlagen Kristallzuchtanlagen
(Typ baSiC-T, SolarCrystallizer 22,
Typ EKZ 2700, Typ EKZ 3500, Typ EKZ 3000, CGS-Lab, Typ Kronos, Multi Crystallizer, Typ OKZ 300, Typ FZ 14, Typ FZ 14 M, Typ FZ 30, Typ SR 120)

Die PVA TePla ist für die High Tech Branchen Halbleiter und Photovoltaik der führende Systemlieferant. Das Unternehmen verfügt über alle industriell relevante Verfahren zur Kristallzüchtung ... mehr

   




Plasmaanlagen

Plasma-Anlagen

Mikrowellen-Plasma und RF-Plasma

(Waferdünnen, Photoresist Ashing, Chip Packaging, Flat Panel Displays, Ionenstrahlätzen, RF-Anlagen)

 

Eine wichtige Eigenschaft des Mikrowellenplasmas ist das niedrige Selbstbias-Potenzial. Diese Tatsache sowie die innenelektrodenfreie Einkoppelung reduzieren das physikalische ... mehr
   




Messsysteme

Messsysteme

Wafermetrologie und Ultraschallsysteme
(SIRD, TWIN)

 

 

 

Für die Qualitätskontrolle von Materialien bietet die PVA TePla eine Reihe von optischen und ultraschallbasierenden Inspektionssystemen an ...  mehr

   



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