Tiegelziehanlagen (Czochralski-Verfahren)

Produktionsanlagen für Silizium und Germanium (nach dem Czochralski-Verfahren)

Für die Produktion von Silizium- und Germanium-Kristallen nach dem Czochralski-Verfahren werden Tiegelziehanlagen eingesetzt. Diese unterscheiden sich im Wesentlichen in der Größe und damit in Kristalldurchmesser und -länge, sind aber durch folgende gemeinsame Merkmale gekennzeichnet:

• Modularer Aufbau der Anlage ermöglicht den Einsatz für Halbleiter-Silizium, Solar-Silizium oder Germanium ohne umfangreiche Maßnahmen zur Anpassung
• Doppelwandige Kessel aus hochlegiertem Edelstahl mit spiegelpolierter Oberfläche zur leichten Reinigung
• Einfaches Kesselhandling für Reinigung/Prozessvorbereitung
• Ein Trennventil zwischen Ofenkessel und Schleusenkammer ermöglicht die Kristallentnahme, während die Schmelze auf Prozesstemperatur bleibt
• Hochpräzise Regelung der Schmelzbadtemperatur
• Kristallvorschub mit Stange oder Seil, Direktantriebe für Vorschübe mit wartungsfreien Motoren und hochgenau geregelter Drehzahl
• Steuerung des gesamten Prozessablaufes mit speicherprogrammierbarer Steuerung (SPS) sowie Software für Prozessdatenerfassung und -auswertung incl. graphischer Online-Darstellung des Prozessverlaufes und Vergleichsmöglichkeit mit vorherigen Prozessen
• Möglichkeit zum Anbau von Zubehör wie Magnet zur Schmelzbadstabilisierung, Nachchargiereinrichtung oder Schmelzbadhöhenmesseinrichtung
  
  

Der Czochralski-Prozess in seinen verschiedenen Prozessphasen

1. Einschmelzen	2. Temperaturstabilisierung	3. Ansetzen des Impfkristalls
4. Ziehen des Dünnhalses	5. Schulter-Wachstum	6. Ingot-Wachstum

	Typ EKZ 2700 Diese Anlagen verbinden bewährte Elemente aus der Mechanik mit innovativen Elementen zur Prozesssteuerung. Beide Anlagentypen unterscheiden sich hauptsächlich in der Ausführung des Kristallvorschubs (Stange/Seil) und werden für die Produktion von Kristallen mit bis zu 200mm (8") Durchmesser eingesetzt... mehr

	Typ EKZ 3500 Die EKZ 3500 wird für die Produktion von Kristallen mit bis zu 300mm (12") Durchmesser eingesetzt. Die typischen Chargengewichte liegen zwischen 120 und 200kg, jeweils abhängig von der eingesetzten Heizeinrichtung und Nachchargiereinrichtung zur Erhöhung der Einwaage... mehr

	Typ EKZ 3000 Im Vergleich zu den bisherigen Tiegelziehanlagen ist mit dem Konzept und der Ausführung der 300mm-Anlage ein bedeutender Sprung in der Entwicklung gelungen. Die Anlage wurde unter Berücksichtigung aller bis dahin gesammelten Erkenntnisse und enger Einbeziehung des Know Hows unserer Kunden weltweit entwickelt. Diese Anlagen erfüllen ausnahmslos... mehr

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Im Westpark 10 - 12
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