Typ Kronos

Bei dem Vertical Gradient Freeze (VGF) Verfahren wird ein Kristall in einem Tiegel durch gerichtete Erstarrung in einem vertikalen Temperaturgradienten gezüchtet. Im Vergleich zum Czochralski-Verfahren bietet das den Vorteil geringerer Spannungen und Defektdichten im Kristall bei zugleich einfacherer Prozessführung. Das Verfahren eignet sich insbesondere zur Züchtung von Verbindungshalbleiterkristallen wie GaAs oder InP, aber auch zur Züchtung von Germanium oder CaF2.