Messsysteme
Ultraschall-Messsysteme
PVA TePla bietet ebenso Ultraschall-Messsysteme zur zerstörungsfreien Inspektion von High Tech Materialien. Finden Sie mehr hierzu auf der Homepage unserer Tochtergesellschaft PVA TePla Analytical Systems
| | www.pva-analyticalsystems.com |
SAM scanning acoustic microscope Ultraschall-Rastermikroskop vario evo twin quad ksi auto wafer auto ingot samtec
![]()
Wafermetrologie
PVA TePla AG bietet verschiedene Metrologie
Systeme für die Überwachung von Fertigungsprozessen in der modernen
Halbleiterindustrie: das SIRD System zum Erkennen und auswerten von Scherstress
auf wafern, Geräte zur Defekt-Erkennung auf wafern und ingots durch Ultraschall
Mikroskopie sowie dem TWIN System zur Kontrolle des Implant prozesses. Alle
unserer Systeme sind 300mm fähig und können vollständig automatisiert werden.
Sie entsprechen den Klasse 1 Reinraum Anforderungen und erfüllen die SEMI
standards S2 und S8.![]() | SIRD A300Die Einführung der 300mm wafer hat neue Anforderungen der Scheibenqualität an die Lieferanten von Wafern nach sich gezogen. Durch die über doppelt so große Fläche und Gewicht der Wafer .... |
![]() | TWIN A200 / A300Die Implantation ist ein sehr kritischer Prozess innerhalb der Herstellung von modernen integrierten Schaltkreisen. Hier werden die wichtigen charakteristischen Eigenschaften der Bauelemente .... |
- 13.08.2010
Quartalsbericht II - 06.09.2010
25th EUPVSECMesse in Valencia,Spanien
mehr

