Plasmaanlagen

Plasma Systeme

Wir sind ein führender Lieferant auf dem Gebiet der Plasmasysteme für die Halbleiterindustrie für einen breit gestreuten Anwendungsbereich vom Entfernen von Fotolack über Stress Relief Ätzung für Wafer und gesägte Bauelemente sowie Reinigen und Aktivieren von Oberflächen vor dem Bonden und Verkapseln bis hin zu Mess- und Analysesystemen für verschiedene Anwendungen.

 

Unsere 30 Jahre Erfahrung auf dem Gebiet der Plasma Technologie macht uns zu einem führenden Experten für die Anwendung von Plasmaprozessen in verschiedensten Prozesskammerformen und Anregungsfrequenzen.


Finden Sie mehr hierzu auf der Homepage unseres Produktbereichs Plasma Systems:

www.tepla.com


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PlaTeG

Unsere Tochtergesellschaft PlaTeG GmbH entwickelt und produziert für eine Vielzahl industrieller Anwendungen Anlagen zur PulsPlasma-Nitrierung und Plasma-Aktivierung.


Finden Sie mehr hierzu auf der Homepage unserer Tochterfirma:

www.plateg.com


 


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