Mikrowellen Plasma System GIGA 690

Das Plasma System GIGA 690 steht für bewährte Mikrowellen-Prozeßtechnologie in einem neuen Design. State-of-the-art Software und Datenübertragungsfunktionen sowie eine höchst bedienerfreundliche Benutzeroberfläche machen das Plasma System 690 zu einer der modernsten Plasma-Produktionsanlagen am Markt.

In der Welt des Chip Packagings ist das PVA TePla System 690 zudem bekannt als die vielseitigste Plasma-Reinigungsanlage. Die unübertroffene Flexibilität der Plasmaprozesse beruht auf der elektrodenlosen Energieeinspeisung und Plasmaerzeugung. Die elektrodenlose Energieeinspeisung ist in der Tat der Schlüssel zur Behandlung von Substraten in geschlossenen Magazinen im Downstream-Prozeß.

Geschlitzte Magazine werden geeigneterweise auf einer rotierenden Plattform prozessiert, der ECR-Modus komplettiert die verschiedenen Betriebsweisen und unterstreicht die hohe Flexibilität dieses Plasma Systems.

Die PVA TePla Mikrowellen-Plasmatechnologie bietet darüberhinaus entscheidende Prozeßvorteile. Beim Verpacken von Halbleiterchips lässt sich durch diese Technologie leicht das gesamte Anwendungsspektrum bedienen: Plasma vor dem Drahtbonden, Aktivieren vor dem Flip Chip Underfill und Undermold, aber auch Plasma vor dem Vergießen und vor dem Aufbringen von Lotkugeln. Das Plasma System GIGA 690 wird allen Anforderungen gerecht. Als eine Produktionsanlage ist das System GIGA 690 auch ein Garant für hohe Durchsätze.

Ein weiteres entscheidendes PVA TePla Feature ist die Möglichkeit, das Plasma System 690 mit einem externen H2 Generator aufzurüsten. Diese Option, reinen Wasserstoff einzusetzen, führt insbesondere beim Plasma-Reinigen vor dem Drahtbonden zu optimalen Prozeßergebnissen. Es ist möglich, Oxidschichten sowie verschiedene inorganische Rückstände (u.a. Schwefel) zu entfernen. Das Plasma System 400/690 H2 trägt das in der EU bindende Sicherheitszertifikat.

Desweiteren ist diese Anlage entweder mit einer Schwenktür oder wahlweise mit einer voll automatischen Hubtür (GIGA 690 Inline) erhältlich.