Flat Panel Display

Bei der Herstellung von Flachbildschirmen mittels organischer LEDs wird in der Industrie das Tintenstrahldruckverfahren mit hochmolekularen Polymer-LED-Materialien eingesetzt. Für die optimale Ausbildung der Pixelgeometrie und zum Erreichen der höchsten Lichtausbeute bei PLEDs ist die Oberflächenspannung von grundsätzlicher Bedeutung. Dabei sind gleichzeitig Oberflächen mit hoher Benetzbarkeit (hydrophil) als auch Bereiche mit abstossender (hydrophober) Oberfläche gefordert, um z.B. das Spreiten der Flüssigkeitstropfen auf die erwünschte Pixelfläche zu begrenzen und um die Ausbildung möglichst homogener Schichtdicken zu erreichen. Beide Forderungen lassen sich durch eine Behandlung im Mikrowellenplasma sicherstellen. Die Technologie ist zuverlässig und skalierbar auf die Panelgrössen künftiger Fertigungsgenerationen.

Selbstleuchtende Bildschirme auf Basis organischer Leuchtdioden gewinnen zunehmend an Bedeutung für hochwertige Anwendungen bei PDAs oder für TV-Bildschirme. Die Displays sind auf Glasplatten aufgebaut und bestehen im wesentlichen aus einer oder mehrerer elektrolumineszierender organischer Schichten sowie zweier Elektrodenschichten, von denen eine transparent sein muss (ITO). Auch bei der ITOSchicht kann mittels Plasma eine Erhöhung der Austrittsarbeit (Ladungstransfer) bewirkt werden, was sich in einer Verbesserung der Lichtausbeute niederschlägt. Für die Pixelerzeugung werden mittels Fotolithografie wannenförmige Bereiche aus Fotolack geschaffen, in die mittels Tintenstrahldruck die Polymermaterialen einschliesslich des PEDOT (Lochtransportschicht) aufgebracht werden. Die Reinigung bzw. Konditionierung der ITO-Oberfläche und des Fotolacks ist dabei von grosser Bedeutung für gute Lichtausbeute sowie zur Ausbildung einer homogenen Schichtdicke für eine längere Lebensdauer des Bildschirmes.