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Fotolackverascher GIGAbatch 360 P / 380 P

Anlage zur Fotolackveraschung für hohe Durchsatzanforderungen in Chipfabriken. Elektrischer Türantrieb, vorbereitet für die Kombination mit einer automatischen Wafertransferstation zur sicheren und sanften Beladung aus der Kassette. Gleichzeitiger Transfer von 50 Scheiben (2 Lots) für typischen Durchsatz von mehr als 100 Wafern/h.

 

 

 

 
Technische Daten

Plasmakammer:

 

Quarz, Tiefe: 395 mm (15")

Durchmesser: 245 mm (9.6") - Model 360 P

Durchmesser: 300 mm (12") - Model 380 P

 

Plasma Erzeugung:

 

Mikrowellenfrequenz: 2.45 GHz, 

max. 1.000 W 

 

System Abmessungen:

 

W x H x D = 795 x 1540 x 710 mm

(32" x 61" x 28")

Gewicht: 190 kg (420 Ibs)

 

Optionen: 

 

Wasserstoffprozessgas GeneratorOption mit

TÜV-Zulassung

 

Anwendungen:

 

 

 

  • Fotolackveraschung 
  • Substratreinigung 




 

 

Business unit

gb Semiconductor Systems



 

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Ihr Ansprechpartner:

 

PVA TePla AG
Plasma Systems
Hans-Riedl-Strasse 5
D-85622 Feldkirchen

Phone: +49 (0) 89/905 03-0

E-mail: plasma@pvatepla.com

 

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