Port - Abschirmung

Charakteristik

Gestreute Teilchen treffen überall auf die Wände des Plasmagefäßes. Speziell im Bereich von Durchführungen sind daher zusätzliche Abschirmungen nötig. Die hier gezeigte Komponente besteht aus einem doppelwandigen Hauptrohr mit 13 Kühlfingern. Jeder Kühlfinger besteht aus einem Innenrohr als Wassereinlass, einem Außenrohr aus TZM als Auslass und einem Strahlfänger aus Graphit. Diese verschiedenen Materialien sind miteinander verschweißt und im Vakuum gelötet, die Struktur ist leckdicht auf besser als 10^-9 mbl/sec. Eine Herausforderung war auch die Einhaltung der benötigten Genauigkeit von 0,3 mm in Parallelität und Winkel der Kühlfinger zueinander.

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Industrial Systems

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