Highlights

SiCma

Hochwertige Großserienfertigung bis zu 12’’
Kompaktes Design
Hohe Wiederholgenauigkeit
Hoher Qualitätsstandard für maximale Ausbeute
Fortschrittliche Automatisierung
Flexible Be- und Entladesysteme
Modulare Optionen wie Turbopumpe und verschiedene Messvorrichtungen

Die SiCma bietet damit eine ideale Plattform für die Züchtung von Siliziumkarbid und Aluminiumnitrid in anspruchsvollen Produktionsumgebungen und lässt sich individuell an spezifische Anforderungen anpassen.

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Produktionshalle mit Technikern bei der Montage von SiCma PVT-Kristallzuchtanlagen..

Technische Daten

Typische Kristalldurchmesser	Bis zu 12“
Frequenz	6 - 10 kHz
Stellfläche Gehäuse [BxT]	1.200 x 2.500 mm
Höhe inkl. Signalleuchte	<3.500 mm
Gesamtgewicht ca.	1.850 kg
Arbeitsdruck	1 - 900 mbar
Max. Arbeitstemperatur	2.400 °C
Materialien	3C-SiC; 4H-SiC; 6H-SiC, AlN; …

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Spulenhub

Turbomolekularpumpe

Hot Zone-Rotation

Pyrometer oben und unten

H₂-Leitung

Breites Spektrum an Softwareoptionen

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