Plasma Batch Systeme 

• GIGA 690
• GIGA 690 INLINE
• GIGA 690 Autofab

Der vielseitige GIGA 690 ist ein zuverlässiges Batch‑Backend‑System. Er dient als gemeinsame Plattform, um unterschiedliche Anforderungen abzudecken – von einer eigenständigen Einzellösung bis hin zu einem vollautomatisierten Clustersystem.

Die Substrate bzw. Produkte werden in einem Batch‑Produkthalter behandelt.

GIGA 690, GIGA 690IL und GIGA 690 Autofab

BGAs, Leadframes, Leiterplatten und Wafer

• Aktivierung vor Molding, Underfill und Beschichtung
• Reinigung vor dem Wirebonding
• Vorbehandlung für Flip‑Chip‑Underfill
• Vorbereitung für das Anbringen von Lotkugeln
• Reinigung und Aktivierung von Substraten und Wafern
• Batchverarbeitung mit bis zu 6 Magazinen

Weitere Anwendungen

• Reinigung und Aktivierung von alternativen Produkten wie Sensoren, medizinischen Komponenten und anderen Bauteilen

GIGA 690 und GIGA 690 INLINE 

• Flexibilität: breites Spektrum an Anwendungen und Möglichkeiten
• GHz‑Plasma, Aluminiumkammer, Keramikfenster
• Keine Elektroden innerhalb der Kammer
• Zwei unterschiedliche Kammergrößen (64 oder 91 Liter)

• Vollautomatisierte Clusterlösung
• Hoher Durchsatz bei kleinem Footprint durch die intelligente Kombination aus Batch‑Behandlung und Single‑Wafer‑Automatisierung
• Bewährte Plasma­technologie mit erstklassiger Gleichmäßigkeit