구성
GIGA 690
GIGA 690 인라인
GIGA 690 오토팹
다용도 GIGA 690은 신뢰할 수 있는 배치형 백엔드 장비입니다. 이 장비는 독립형 단일 솔루션부터 완전 자동화된 클러스터 시스템에 이르기까지 다양한 작업을 수행하는 공통 플랫폼으로 사용됩니다.
기판/제품은 배치형 제품 캐리어에서 처리됩니다.
응용 분야
BGA, 리드 프레임, PCB 및 웨이퍼
성형 전 활성화, 언더필, 코팅
와이어 본딩 전 세정
플립 칩 전 언더필
솔더 볼 부착 전
기판 및 웨이퍼 세정/활성화
최대 6개의 매거진을 이용한 배치 처리
기타
센서, 의료용 부품 및 기타 부품과 같은 대체 제품의 기판 세정/활성화
장점
유연성: 광범위한 적용 분야와 가능성
GHz 플라즈마, 알루미늄 챔버, 세라믹 윈도우
챔버 내부에 전극 없음
2가지 챔버 크기(64리터 또는 91리터)
장점
완전 자동화 클러스터 솔루션
배치 처리와 단일 웨이퍼 자동화의 독창적인 결합을 통해 작은 설치 공간에서 높은 처리량 달성
최상의 균일도 결과를 제공하는 견고한 플라즈마 기술
| 전원 | 다양한 전압 및 주파수 지원 |
| 공정 가스 | ¼” 스웨겔록 커넥터, 입력 압력 1~2 bar |
| 내부 치수 (폭 x 높이 x 깊이) | 400 x 400 x 400 mm (옵션: 450 x 450 x 450 mm) |
| 압축 공기 | 커넥터 6 mm Festo, 입력 압력 4 - 6 bar, 오일 프리 |
| 치수 (WxHxD) | 1,050 mm x 1,720 mm (라이트 타워 포함 1,950 mm) x 815 mm |
| 무게 | 195 kg (진공 펌프 포함 445 kg) |
| 전원 | 다양한 전압 및 주파수 지원 |
| 공정 가스 | ¼” 스웨겔록 커넥터 |
| 압축 공기 | 커넥터 6 mm Festo, 입력 압력 4 - 6 bar, 오일 프리 |
| 치수 (폭/높이/깊이) | 1,700 mm x 2,000 mm (라이트 타워 포함) x 2,000 mm |
| 무게 | 약 795 kg (진공 펌프 포함) |
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