구성
화학 식각 특성을
위한 80 Plus
2.45 GHz 스트립형 자동화 시스템이 평평한 대형 플라즈마 챔버와 결합
이온 충돌을 통한 물리적 표면 처리를 위한 13.56 MHz RF 탑재 80 Plus IoN
80 Plus HS
2.45GHz: 화학 에칭 특성에 적합한
스트립형 자동화 시스템으로, 독자적인 로드록 진공 챔버와 평평한 대형 플라즈마 처리 챔버를 갖추고 있음
이온 충돌을 통한 물리적 표면 처리를 위한 RF 13.56 MHz 지원 80 Plus HS IoN
80 PLUS 및 80 PLUS HS 플라즈마 시스템은 스트립형 제품이나 웨이퍼를 플라즈마 챔버로 이송하기 위한 독창적인 적재/하역 자동화 기능을 갖춘 자동화 솔루션입니다. 이 시스템은 높은 효율성을 통해 작업자 오류를 제거하고 인력을 절감하는 데 필요한 모든 요건을 충족합니다.
장점
장점
| 출력 | 0~600 W |
| 기본 압력 | 1 x 10⁻² mbar |
| 압축 공기 | Festo DN 6, 4-6 bar 입력 |
| 무게 | 600 kg / 150 kg (시스템 / 펌프) |
| 치수 (폭 x 높이 x 깊이) | 약 1,200 x 2,000 x 1,500 mm |
| 전원 | 다양한 전압 및 주파수 지원 |
| 공정 가스 | ¼“ 스웨겔록 커넥터, 입력 압력 |
| 압축 공기 | 커넥터 6 mm Festo, 입력 압력 4 - 6 bar, 오일 프리 |
| 무게 | 약 795 kg (진공 펌프 포함) |
| 치수 (WxHxD) | 1,700 mm x 2,000 mm (라이트 타워 포함) x 2,000 mm |
플라즈마 스트립 방식 시스템에 관심이 있으신가요?
