2026/07/08

PVA TePla 与弗劳恩霍夫IISB研究所共同成立氮化铝衬底联合实验室

直径为2英寸的氮化铝晶体

韦滕贝格/埃尔兰根,2026年7月8日。弗劳恩霍夫集成系统与器件技术研究所(IISB)与PVA TePla AG公司正通过建立一个联合实验室,整合双方的专业知识,用于生产氮化铝(AlN)晶体。 作为欧洲首例,此次合作将实现由产业界支持的、直径为两英寸的单晶AlN衬底的小批量生产,以满足研发需求。这将显著提高欧洲地区AlN衬底的供应能力,进而加速基于AlN的组件和系统的开发及其向工业应用的转化。 

氮化铝是下一代高性能电子设备最具前景的材料之一。作为一种超宽禁带(UWBG)半导体,AlN在光子学、电力电子、高频电子以及极端条件下运行的电子设备领域开辟了新的可能性。 迄今为止,高质量、大面积且经济实惠的AlN衬底短缺一直制约着基于AlN的电子系统的发展。

“通过联合实验室,我们正在为确保欧洲AlN衬底的可靠供应奠定基础,从而为下一代高性能AlN器件开辟新的前景,”弗劳恩霍夫IISB研究所氮化物材料组组长、负责AlN材料开发的斯文·贝森多尔弗(Sven Besendörfer)博士表示。 “我们与PVA TePla携手,贡献我们在工业晶体生长方面的专业知识,从而为向具体应用的转化创造必要条件。” 

成熟的设备技术与专有工艺诀窍相结合

在联合实验室中,弗劳恩霍夫IISB研究所正利用其专有的PVT(物理气相传输)工艺技术生产2英寸AlN体晶。在此工艺中,AlN粉末在温度远高于2000 °C的坩埚中气化,并沉积在晶种上。 PVA TePla为此提供了PVT系统,该系统目前已在全球范围内用于生长直径为8英寸的碳化硅(SiC)晶体,现已针对2英寸AlN晶体的生长进行了专门调整。 得益于弗劳恩霍夫IISB研究所提供的工艺专业知识,PVA TePla团队得以迅速在其自有设施中生产出质量相当的AlN晶体。 该联合实验室专注于 2 英寸 AlN 晶体的稳定小批量生产。目前正在逐步扩大生产规模,以系统地优化工艺稳定性、可重复性、良率及成本结构。

“凭借氮化铝,我们正在积极塑造继碳化硅(SiC)之后的新一代技术,”PVA TePla研发副总裁 Jan Pfeiffer 博士解释道。 “通过联合实验室,我们可以将自身的设备专长与弗劳恩霍夫IISB研究所的工艺技术直接相结合,从而在早期阶段就为全球客户提供面向市场的解决方案。 我们的共同目标是通过提供合适的基板来推动 AlN 领域的市场发展,并作为技术合作伙伴,为希望进入该领域的企业提供合适的设备及相应的工艺专业知识。”

通过工业规模化生产强化欧洲技术主权 

联合实验室生产的AlN晶体在弗劳恩霍夫IISB研究所进一步加工成可用于外延的AlN衬底,并通过LZE GmbH公司专门转移至工业开发和规模化生产流程中。“对于欧洲的半导体主权而言,关键新材料的开发不仅要取得突破,更要迅速转化为工业应用并实现可扩展的价值创造,这一点至关重要。 LZE GmbH凭借其尖端技术交易平台,为企业和研究机构提供了全球独一无二且开放的AlN衬底获取渠道。通过这种方式,我们有助于确保面向大规模工业市场的有前景的应用能够更快地推向市场,”LZE GmbH总经理克里斯蒂安·福斯特博士表示。

与此同时,弗劳恩霍夫IISB研究所正在推动4英寸AlN技术的发展,并计划未来拓展至6英寸AlN技术。 因此,该联合实验室为基板尺寸的中长期扩大奠定了基础。该合作伙伴关系还致力于实现以下战略目标:整合欧洲在超宽禁带技术方面的专业知识,减少对关键材料的依赖,并可持续地增强欧洲在半导体领域的技术主权。

*图片:直径为2英寸的氮化铝晶体——在弗劳恩霍夫IISB与PVA TePla的联合实验室中生长而成 | © Jennifer Reißig / 弗劳恩霍夫IISB

关于弗劳恩霍夫IISB

弗劳恩霍夫集成系统与器件技术研究所(IISB)是欧洲在宽禁带半导体和电力电子系统领域领先的研究机构之一。该所服务于电力电子行业的整个价值链,研究范围涵盖晶体和衬底、半导体器件与工艺技术、电力电子模块与组件,以及完整的电子和能源系统。 主要应用领域包括电动汽车、航空航天、可持续能源供应以及民用安全。该研究所凭借其解决方案,即使在极端工作条件下,也始终在能效和性能方面树立新的标杆。智能、数据驱动功能的集成不断开辟新的应用场景。 通过这种方式,IISB 支持全球客户和合作伙伴将研究成果转化为具有竞争力的产品。 IISB在以下地点拥有约350名员工:位于埃尔兰根的总部、位于哈尔施塔特清洁技术创新园区的E|Road中心、位于莱比锡的BioCity园区,以及位于弗莱贝格的弗劳恩霍夫高性能材料技术中心(THM)。

关于PVA TePla

PVA TePla 是一家在材料与测量技术领域处于领先地位的尖端技术公司。 这家成立于 1991 年的系统供应商致力于开发和生产用于高精度材料生产、精炼和加工的定制化解决方案(材料解决方案),以及利用声学、光学和湿化学工艺对材料和组件进行检测的系统(计量学)。

PVA TePla 通过其“技术枢纽”(Technology Hub),运营着一个致力于面向市场的未来材料研发的创新中心。 此外,公司还通过内部研发满足客户高度特定的个性化需求。PVA TePla 集团的解决方案在产品和技术的价值链中处于非常早期的阶段,致力于应对数字化、脱碳和移动性等全球性大趋势带来的挑战。 

PVA TePla业务遍布全球,在欧洲、亚洲和北美均设有分支机构。公司总部位于黑森州的韦滕贝格,全球员工约1,000人。 该公司在TecDAX和S-DAX上市,PVA TePla AG的股票在XETRA、Tradegate以及德国各地区证券交易所交易(ISIN DE0007461006,WKN 746100)。

关于 LZE GmbH

在 LZE GmbH,我们致力于架起科学界与市场之间的桥梁。我们与来自广泛学科领域的强大研究合作伙伴携手,在众多商业化项目中开发了高效实用的工具,从而促进将最新的科学成果转化为可工业应用的解决方案。通过这种方式,我们将发明转化为具备市场竞争力的创新成果。

作为前沿技术的交易平台,我们为企业提供接触新型研发成果和产品的渠道,以及全面的市场推广服务。此外,我们还直接负责将研究机构研发的前沿技术进行商业化。