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GIGA 690
GIGA 690 Inline
GIGA 690 Autofab
多功能 GIGA 690 是一款可靠的批次後端設備。它作為通用平台，可涵蓋從獨立單一解決方案到全自動叢集系統的各種任務。
基板／產品將透過批次式產品載具進行處理。
應用
BGA、引線框架、PCB 及晶圓
模塑前活化、底部填充、塗佈
線接前清洗
倒裝晶片填充前處理
焊球附著前
基板與晶圓清洗／活化
最多 6 個料匣批次處理
其他
基板清洗／活化其他產品，例如感測器、醫療元件及其他零件
優點
靈活性：廣泛的應用範圍與可能性
GHz 等離子體、鋁製腔室、陶瓷視窗
腔體內無電極
2 種腔室尺寸（64 或 91 公升）
優點
全自動集群解決方案
透過批次處理與單晶圓自動化的巧妙結合，實現小佔地面積下的高產能
具備頂尖均勻度表現的堅如磐石等離子技術
| 電源 | 提供多種電壓與頻率 |
| 製程氣體 | ¼“ Swagelok 接頭，輸入壓力 1 - 2 bar |
| 內部尺寸（寬 x 高 x 深） | 400 x 400 x 400 毫米（可選 450 x 450 x 450 毫米） |
| 壓縮空氣 | 接頭 6 mm Festo，輸入壓力 4 - 6 bar，無油 |
| 尺寸（寬 x 高 x 深） | 1,050 毫米 x 1,720 毫米（含照明塔為 1,950 毫米）x 815 毫米 |
| 重量 | 195 公斤（含真空泵為 445 公斤） |
| 電源 | 提供多種電壓與頻率 |
| 工藝氣體 | ¼“ 世偉洛克接頭 |
| 壓縮空氣 | 接頭 6 mm Festo，輸入壓力 4 - 6 bar，無油 |
| 尺寸（寬/高/深） | 1,700 毫米 x 2,000 毫米（含照明塔）x 2,000 毫米 |
| 重量 | 約 795 公斤（含真空泵） |
對等離子批次型系統有興趣嗎？