Semiconductor Systems



Im Geschäftsbereich Semiconductor Systems bietet die PVA TePla innovative High Tech Systeme für die Halbleiter-, und Solar-Industrie an, angefangen bei Anlagen zur Herstellung von Silizium-Kristallen für die Halbleiter-, Solar- und optoelektronische Industrie bis zu Anlagen für die Plasma-Behandlung in der Halbleiterfertigung.

 

Darüber hinaus bietet das Unternehmen innovative Lösungen für die zerstörungsfreie Qualitäts-Überprüfung von Werkstoffen und Bauteilen mittels Ultraschall.

 


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Kristallzuchtanlagen

 

Kristallzucht-Anlagen Kristallzuchtanlagen
(Czochralski Verfahren, Vertical Gradient Freeze, OKZ Serie für F&E, Floatzone, SiC-Kristallzucht)
 

Die PVA TePla ist für die High Tech Branchen Halbleiter und Photovoltaik der führende Systemlieferant. Das Unternehmen verfügt über alle industriell relevanten Verfahren zur Kristallzüchtung, insbesondere zur Züchtung von mono- und multikristallinen Siliziumkristallen. ... mehr
   

 

 

Plasma-Anlagen

 

Plasma-Anlagen

Microwellen-Plasma und RF-Plasma

(Waferdünnen, Photoresist Ashing, Chip Packaging, Flat Panel Displays, Ionenstrahlätzen, RF-Anlagen)

 

Im Bereich Plasma-Anlagen werden Anlagen für kundenspezifische Lösungen entwickelt, konstruiert und gebaut. Anwendungsschwerpunkt ist das Oberflächen-Engineering von Material-Oberflächen mittels Plasma, um bestimmte Eigenschaften gezielt zu verändern ... mehr

   

 

 

Messsysteme

 

Messsysteme

Ultraschallmessung und Wafermetrologie
(SIRD, TWIN)
 

 

 

Die Ultraschallmikroskopie bietet die Möglichkeit, zerstörungsfreie Prüfungen an opaken (optisch nicht transparenten) Materialien vorzunehmen und das Probeninnere mit einer Auflösung eines optischen Lichtmikroskops zu inspizieren.  ... mehr

   



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