Semiconductor Systems
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Im Geschäftsbereich Semiconductor Systems bietet die PVA TePla innovative High Tech Systeme für die Halbleiter-Industrie an, angefangen bei Anlagen zur Herstellung von Silizium-Kristallen für die Halbleiter- und optoelektronische Industrie bis zu Anlagen für die Plasma-Behandlung in der Halbleiterfertigung.
Darüber hinaus bietet das Unternehmen innovative Lösungen für die zerstörungsfreie Qualitäts-Überprüfung von Werkstoffen und Bauteilen mittels Ultraschall.
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Kristallzucht-Anlagen
 | Kristallzuchtanlagen (Czochralski Verfahren, Vertical Gradient Freeze, SiGe Epitaxie CVD, Floatzone) Die PVA TePla ist für die High Tech Branchen Halbleiter und Photovoltaik der führende Systemlieferant. Das Unternehmen verfügt über alle industriell relevanten Verfahren zur Kristallzüchtung, insbesondere zur Züchtung von mono- und multikristallinen Siliziumkristallen. ...  mehr |
Plasma-Anlagen
 | Microwellen-Plasma und RF-Plasma (Waferdünnen, Photoresist Ashing, Chip Packaging, Flat Panel Displays, Ionenstrahlätzen, RF-Anlagen)
Im Bereich Plasma-Anlagen werden Anlagen für kundenspezifische Lösungen entwickelt, konstruiert und gebaut. Anwendungsschwerpunkt ist das Oberflächen-Engineering von Material-Oberflächen mittels Plasma, um bestimmte Eigenschaften gezielt zu verändern ... |
Messsysteme
 | Ultraschallmessung und Wafermetrologie
Für die Qualitätskontrolle von Materialien bietet die PVA TePla eine Reihe von optischen und ultraschallbasierenden Inspektionssystemen an ... |
Nach Oben - 23.02.2012
CIPVMesse in Peking, China
mehr - 29.03.2012
Veröffentlichung Geschäftsbericht 2011