Fotolackverascher GIGAbatch 310 M
Kompaktes, kostengünstiges Tischgerät für Anwendungen in der Halbleitertechnik, speziell konfiguriert für Universitäten und Forschungslabors. Geeignet für verschiedene Substratgeometrien von Coupongrösse bis 150mm. Die Anlage ist vorbereitet für den Einbau von Aufnahmen in Form horizontaler Platten für Scheiben oder Kleinsubstrate oder Quarzboote.
Spezial Kühlplatten Einbauoption, konzipiert für die Entfernung von SU-8 Resist.
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- 23.02.2012
CIPVMesse in Peking, China
mehr - 29.03.2012
Veröffentlichung Geschäftsbericht 2011
