Fotolackverascher GIGAbatch 310 M

Kompaktes, kostengünstiges Tischgerät für Anwendungen in der Halbleitertechnik, speziell konfiguriert für Universitäten und Forschungslabors. Geeignet für verschiedene Substratgeometrien von Coupongrösse bis 150mm. Die Anlage ist vorbereitet für den Einbau von Aufnahmen in Form horizontaler Platten für Scheiben oder Kleinsubstrate oder Quarzboote.

Spezial Kühlplatten Einbauoption, konzipiert für die Entfernung von SU-8 Resist.

Technische Daten

Plasmakammer:	Quarz, Durchmesser 245 mm Tiefe 395 mm
Plasma Erzeugung:	Mikrowellenfrequenz 2.45 GHz, max. 600 Watt Variable Leistung
System Abmessungen:	W x H x D = 795 x 650 x 710 mm Gewicht: 150 kg
Optionen:	SU-8 Veraschungskit inkl. Kühlplatte und Umlaufkühler zur Kontrolle der Substrattemperatur Endpunkterkennung, zusätzlicher Gaskanal
Anwendungen:	Fotolackveraschung SU-8 Ätzen/-entfernen Substratreinigung