Plasmakammer:

Quarz, Tiefe: 395 mm (15")

Durchmesser: 245 mm (9.6") - Model 360 M 

Durchmesser: 300 mm (12") - Model 380 M

Plasma Erzeugung: 

Mikrowellenfrequenz:  2.45 GHz

max. 1.000 W

System Abmessungen:

W x H x D = 795 x 1540 x 710 mm 

(32" x 61" x 28") 

Gewicht: 190 kg (420 Ibs) 

Optionen:

Wasserstoffprozessgas Generator Option mit

TÜV- Zulassung

Anwendungen:

• Fotolackveraschung 
• Substratreinigung