Einzelscheibenanlage GIGAfab A200/300
Automatischer Einzelscheiben-Lackverascher für 200 oder 300 mm Siliziumscheiben, vorgesehen für Anwendungen in der Halbleitertechnik, Wafer Bumping und MEMS-Herstellung.Spezielle planare MW-Plasmaquelle für höchste Gleichmässigkeit bei hohem Durchsatz über einen weiten Temperaturbereich. Geeignet für fluorierte Gase.
Modulare Plattform, konfigurierbar mit verschiedenen Load Ports und Waferchuck Versionen.
Bedienungs- und wartungsfreundlich.
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Technische Daten
Business unit
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