기술 사양
| 사용 가능한 챔버 직경 (mm) | 600, 900, 1,200, 1,600, 2,500 |
| 최대 온도 (°C) | 1,600 (옵션 2,200) |
| 가열 구역 | 3~4 |
| 기본 압력 (mbar) | 0.02 |
| 반응기 유형 | 하부 충전 |
| 속도 조절이 가능한 턴테이블 (RPM) | 0.1 ~ 3 |
| 가스 시스템 및 액체 원료 주입 | N₂, H₂, CH₄, MTCS, SiCl₄ |
| 가스 저감 | 습식 세정기 |
CVD 반응기에 관심이 있으신가요?
소재 솔루션
다음과 같은 첨단 코팅 소재를 위해 고객을 위해 이미 수많은 공정과 장비가 개발되었습니다:
| 사용 가능한 챔버 직경 (mm) | 600, 900, 1,200, 1,600, 2,500 |
| 최대 온도 (°C) | 1,600 (옵션 2,200) |
| 가열 구역 | 3~4 |
| 기본 압력 (mbar) | 0.02 |
| 반응기 유형 | 하부 충전 |
| 속도 조절이 가능한 턴테이블 (RPM) | 0.1 ~ 3 |
| 가스 시스템 및 액체 원료 주입 | N₂, H₂, CH₄, MTCS, SiCl₄ |
| 가스 저감 | 습식 세정기 |
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