글로벌한 전문성과 현장맞춤 지원
플라즈마 어플리케이션 및 공정 지원
고객의 응용 분야 과제 해결과 새로운 공정 개발을 지원하기 위해, 저희는 프랑크푸르트 인근 베텐베르크(독일), 예나(독일), 캘리포니아주 코로나(미국) 등 세 곳의 전략적 거점에 최첨단 장비를 갖춘 응용 연구소를 운영하고 있습니다. 각 연구소에는 당사의 최신형 플라즈마 공정 시스템이 구비되어 있어, 신속하고 실질적인 지원과 함께 협업을 통한 공정 개발이 가능합니다.
프론트엔드 처리 연구실
당사의 프런트엔드 연구실에는 클래스 100 클린룸이 마련되어 있으며, 이곳에서는 당사의 최신 배치 및 단일 웨이퍼 시스템이 다양한 구성으로 가동되고 있습니다. 이러한 장비는 포토레지스트 제거, 스트레치 릴리프 에칭 및 기타 프런트엔드 플라즈마 공정과 같은 용도로 사용됩니다.
당사의 프런트엔드 팀은 고객이 핵심 플라즈마 공정을 최적화하고 안정적이며 재현성 높은 결과를 얻을 수 있도록 실무 중심의 지침을 제공합니다. 당사는 고객과 긴밀히 협력하여 공정을 개선하고, 파라미터를 검증하며, 고객의 프런트엔드 애플리케이션에 대한 신뢰할 수 있는 성능을 보장합니다.
백엔드 처리 연구실
당사의 백엔드 분야에는 마이크로파 및 고주파(>13.56 MHz) 구동 방식을 적용한 배치 및 단일 기판용 플라즈마 장비가 구비되어 있습니다. 또한 태양전지 에지 에칭 전용 시스템도 제공되어 다양한 산업 분야에 폭넓게 활용될 수 있습니다.
당사의 백엔드 전문가들은 첨단 소자 구조를 위한 플라즈마 공정 개발 및 개선을 지원합니다. 문제 해결부터 공정 개선에 이르기까지, 당사는 귀사의 백엔드 워크플로우에서 고품질의 결과를 달성하고 일관된 성능을 확보할 수 있도록 돕습니다.
계측 응용 분야 지원
독일 예나(Jena)에 위치한 당사 연구소에서는 레이저 기반 분석 및 표면 오염 분석을 포함한 계측 시스템 지원 서비스를 제공하여, 귀사의 소재와 부품에 대한 정밀한 특성 분석을 보장합니다.
당사의 계측 전문가들은 소재 평가, 결과 해석, 그리고 고객의 요구에 맞춘 측정 전략 수립을 지원합니다. 당사는 고객의 특성 분석 프로세스가 명확하고 실행 가능한 통찰력을 제공하여 확신을 가지고 의사결정을 내릴 수 있도록 보장합니다.
프론트엔드
백엔드
계측학 응용
당사의 플라즈마 응용 및 공정 지원에 관심이 있으신가요?
