고급 자동화

CGS1218

PLC 제어, 레시피 관리, 카메라 기반 직경 모니터링 및 안전 인터록을 통한 첨단 자동화 기술은 작업자의 개입을 최소화하고 처리량을 극대화하며, 유지보수가 거의 필요 없는 지속적인 가동을 지원합니다.

다음
Viewing window of a Czochralski crystal growth chamber showing internal components
Czochralski crystal growth system with automated handling and high‑precision process equipment
기술 사양
최대 잉곳 직경12인치 - 18인치
잉곳 길이2,800 mm
적재 용량최대 450 kg
가열 구역32" - 36"


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전체 높이 (접은 상태)13,900 mm (10,000 mm 케이블 버전) + 받침대
전체 높이 (개방 시)113,900 mm (10,000 mm 케이블 버전) + 받침대
약 3,300 mm (챔버 회전 시 약 5,000 mm)
깊이약 3,000 mm (챔버 회전 시 약 4,300 mm)

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