FZ-14M/FZ-14MG

생산 공정에서 나온 소형 다결정 시료를 아르곤 분위기에서 유도 용융한 후, 시드(seed) 위에 결정화시켜 단결정으로 만듭니다. 이후 이를 분광 분석법을 통해 분석합니다. 이를 통해 생산된 폴리실리콘의 품질을 확인하고 기록할 수 있습니다. 비접촉 용융 방식(터보분자 펌프에 의해 생성된 높은 최종 진공도 및 공정 분위기로 초순수 아르곤 사용) 덕분에 공정 중 오염을 효과적으로 방지할 수 있습니다.

FZ-14MG 모델에서는 코일 아래에 실리콘 과립을 배치하고, 상부 공급구에 시드 크리스탈을 사용하여 역방향 인발 공정으로 재료 분석용 단결정을 인발할 수 있습니다. 이를 위해 상부 스핀들은 X 및 Y 방향으로 모두 이동할 수 있습니다.