기술 사양
| 일반적인 크리스탈 직경 | 최대 12인치 |
| 주파수 | 6~10 kHz |
| 설치 면적 [폭 x 깊이] | 1,200 x 2,500 mm |
| 신호등 포함 높이 | <3,500 mm |
| 총 중량 약 | 1,850 kg |
| 작동 압력 | 1 - 900 mbar |
| 최대 작동 온도 | 2,400 °C |
| 재료 | 3C-SiC; 4H-SiC; 6H-SiC, AlN; … |
| 코일 리프트 |
| 터보분자 펌프 |
| 고온 영역 회전 |
| 상부 및 하부 고온계 |
| H₂ 라인 |
| 다양한 소프트웨어 옵션 |
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