기술 사양
| 도가니 직경 | 4인치 – 6인치 |
| 도가니 높이 | 최대 450 mm |
| 용해로 직경 | 800 mm |
| 챔버 높이 | 975 mm |
| 작동 압력 | 최대 40 bar |
| 히터 개수 | 4 |
| 재질 | 갈륨 비소, 인듐 인화물 |
| 높이 | 약 3,800 mm (선택 사항 임시 프로파일링 유닛 없이) |
| 폭 | 약 1,920 mm |
| 깊이 | 약 3,000 mm |
| 총 중량 | 약 6,000 kg |
권장천장높이 | 최소 5,000 mm (상단 챔버 뚜껑 제거를 위해) |
Kronos에 관심이 있으신가요?
주요 특징
사용자 편의성을 극대화하기 위해, 이 시스템은 선택 사양으로 이동식 적재 및 하역 시스템을 제공하여 취급을 용이하게 하고 효율적이며 안전한 작동을 보장합니다. 또한, 특정 재료 시스템에 맞춰 정밀하게 설정된 정확한 값을 바탕으로 한 고도의 정밀한 온도 제어 및 구배 관리가 주목할 만합니다.
Kronos는 VGF 공정을 이용한 결정 생산을 위한 강력하고 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하며, 이는 현대 반도체 및 소재 기술의 요구 사항과 완벽하게 부합합니다.
| 도가니 직경 | 4인치 – 6인치 |
| 도가니 높이 | 최대 450 mm |
| 용해로 직경 | 800 mm |
| 챔버 높이 | 975 mm |
| 작동 압력 | 최대 40 bar |
| 히터 개수 | 4 |
| 재질 | 갈륨 비소, 인듐 인화물 |
| 높이 | 약 3,800 mm (선택 사항 임시 프로파일링 유닛 없이) |
| 폭 | 약 1,920 mm |
| 깊이 | 약 3,000 mm |
| 총 중량 | 약 6,000 kg |
권장천장높이 | 최소 5,000 mm (상단 챔버 뚜껑 제거를 위해) |
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