주요 특징

Kronos

사용자 편의성을 극대화하기 위해, 이 시스템은 선택 사양으로 이동식 적재 및 하역 시스템을 제공하여 취급을 용이하게 하고 효율적이며 안전한 작동을 보장합니다. 또한, 특정 재료 시스템에 맞춰 정밀하게 설정된 정확한 값을 바탕으로 한 고도의 정밀한 온도 제어 및 구배 관리가 주목할 만합니다.

Kronos는 VGF 공정을 이용한 결정 생산을 위한 강력하고 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하며, 이는 현대 반도체 및 소재 기술의 요구 사항과 완벽하게 부합합니다.

다음
Vertical Gradient Freeze crystal growth system in a cleanroom environment
기술 사양
도가니 직경4인치 – 6인치
도가니 높이최대 450 mm
용해로 직경800 mm
챔버 높이975 mm
작동 압력최대 40 bar
히터 개수4
재질갈륨 비소, 인듐 인화물
높이

약 3,800 mm (선택 사항 임시 프로파일링 유닛 없이)

약 1,920 mm

깊이

약 3,000 mm

총 중량

약 6,000 kg

권장천장높이

최소 5,000 mm (상단 챔버 뚜껑 제거를 위해)

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