대표적인 용도

IoN 10Q 플라즈마 시스템

  • 포토레지스트 애싱 및 데스컴
  • 표면 세정
  • 표면 활성화
다음
추가 기능
공간을 적게 차지하는 탁상용 디자인
플러그 앤 플레이 방식의 자가 설치
LCD 터치 패널과 키보드가 장착된 산업용 컴퓨터. Windows 기반 운영 체제
그래픽 사용자 인터페이스(GUI) 소프트웨어는 CFR Title 21 Part 11 및 Semi E95-1101을 준수합니다
다단계 사용자 접근 권한
소프트웨어
빠르고 유연한 단계별 제어를 위한 레시피 편집기
온보드 진단 기능 및 경보 로깅
이더넷을 통한 원격 공정 모니터링
온라인 웹 기반 시뮬레이션/교육/지원

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