IoN 40Q 플라즈마 시스템

이 시스템의 첨단 기능은 최첨단 공정 제어, 안전 장치 시스템 경보 및 데이터 수집 소프트웨어를 제공합니다. 이를 통해 본 시스템은 반도체, LED 및 MEMS 소자 제조에 필요한 엄격한 품질 관리 기준을 충족할 수 있습니다. IoN 40Q는 소형화된 완전 통합 패키지에 고주파(RF) 발생 플라즈마를 적용했습니다.