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장점

GIGAbatch 310M

  • 컴팩트한 탁상형 디자인
  • 경제적인 가격
  • 다양한 기판 크기 지원 (2인치 ~ 6인치)
  • 배치 처리 (한 번에 최대 25개의 웨이퍼)
  • 맞춤형 웨이퍼 보트 지지 암(옵션)
  • 수동 서랍 도어
  • 마이크로파 플라즈마 소스
  • 빠른 애싱 속도 및 손상 없는 공정
  • 광범위한 기판 호환성
다음
Giga Batch frontend plasma system with open chamber door showing wafers inside.
기술 사양
주파수2.45 GHz
출력0-600 W
전기 연결230 V, 15 A, 50/60 Hz
진공 챔버석영, 직경 245 mm, 깊이 395 mm, 용량 18 l
치수 (폭/높이/깊이)약 795 x 660 x 710 mm
무게150 kg

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