GIGAbatch 360/380M

• 컴팩트한 디자인
• 생산용 애플리케이션에 최적화됨
• 매우 낮은 소유 비용
• 클린룸 인증 유리 전면
• 다양한 기판 처리 가능(2인치~8인치)
• 높은 처리량 (실행당 최대 75개의 웨이퍼)
• 맞춤형 웨이퍼 지지 암 포함
• 웨이퍼 적재를 위한 전동식 도어
• 로딩 시 플라즈마 챔버와 접촉 없음

요청 시 제공 가능

• 공정 압력용 능동 제어 장치 (DSC)
• 패러데이 케이지
• 추가 가스 덕트
• 다양한 크기의 기판 또는 웨이퍼용 적재 장치
• 세라믹 공정 챔버
• 불소를 함유한 공정 가스 사용용 특수 씰