기술 사양
| 주파수 | 2.45 GHz |
| 출력 | 0~1,000 W |
| 전기 연결 | 230 V, 15 A, 50/60 Hz |
| 진공 챔버 | 석영, 깊이 395 mm |
| 진공 챔버 360P | 직경 245 mm, 용량 18 l |
| 진공 챔버 380P | 직경 300 mm, 용적 28 l |
| 치수 (폭/높이/깊이) | 약 795 x 1,540 x 710 mm |
| 무게 | 190 kg |
GIGAbatch 360/380P에 관심 있으신가요?
주요 기능
플라즈마 시스템인 GIGAbatch 360P 및 380P는 반도체 산업의 가장 까다로운 요구 사항에 적합하며 동일한 챔버 형상을 사용합니다. 챔버 직경이 245mm인 360P 모델은 직경 150mm 웨이퍼를 최대 50장까지 수용할 수 있습니다. 380P 시스템의 챔버 내경은 300mm로, 직경 200mm 웨이퍼 25개를 수용할 수 있습니다. M 시리즈 시스템과의 차이점은 P 시리즈가 클래스 100까지의 클린룸 요구 사항을 충족한다는 점입니다.
GIGAbatch 380P는 웨이퍼 배치 전체를 자동으로 적재 및 배출하는 완전 자동화 시스템입니다.
| 주파수 | 2.45 GHz |
| 출력 | 0~1,000 W |
| 전기 연결 | 230 V, 15 A, 50/60 Hz |
| 진공 챔버 | 석영, 깊이 395 mm |
| 진공 챔버 360P | 직경 245 mm, 용량 18 l |
| 진공 챔버 380P | 직경 300 mm, 용적 28 l |
| 치수 (폭/높이/깊이) | 약 795 x 1,540 x 710 mm |
| 무게 | 190 kg |
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