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장점

GIGAfab A

최상의 플라즈마 처리 결과 및 공정 엔지니어링 역량
크고 평평한 플라즈마 소스
단일 웨이퍼 처리
ISO 5 호환
완전 자동화 및 FOUP 통합 가능
SECS/GEM 호환

다음

Gigafab A detail view showing open processing chamber with interior components.

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