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장점

GIGAfab M

최상의 플라즈마 처리 결과 및 공정 엔지니어링 역량
크고 평평한 플라즈마 소스
최대 300mm 또는 4x 150mm 웨이퍼의 단일 또는 일괄 처리
ISO 5 등급 호환

다음

Plasma frontend Gigafab M detail view showing a drawer with two wafers inside.

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