장점
최상의 플라즈마 처리 결과 및 공정 엔지니어링 역량
크고 평평한 플라즈마 소스
단일 웨이퍼 처리
ISO 6 호환
최대의 유연성과 처리량을 위한 독보적인 모듈식 시스템
GIGAfab 모듈형에 관심 있으신가요?
