VEgauge

• 거시적 및 미시적 표면 검사를 위한 완전 맞춤형 인라인 검사 시스템
• 특정 공정 요구 사항에 맞춰 서브 마이크로미터(sub-µm)에서 미터(m) 단위까지의 공간 분해능 제공
• 시야, 시료 크기 및 시스템 치수는 고객의 생산 설비에 따라 정의됩니다
• 신속한 공정 피드백을 위한 준실시간 평가
• 박막, 결함, 오염 및 표면 거칠기에 대한 비파괴적 전체 표면(100%) 검사
• 1 nm에서 500 µm까지의 층 분석, 고객의 소재 스택에 맞춰 구성
• 기판별 보정: 반도체, 금속, 폴리머, 세라믹, 유리 등
• 병렬 생산 라인에 대한 확장성: 각각 개별적으로 구성된 여러 시스템을 동시에 배포
• 기존 생산 워크플로우와의 원활한 통합
• VEsolve^® pro 소프트웨어를 통한 중앙 집중식 데이터 관리 및 제어