VEreveal

• 반도체 팹 환경(ISO 클래스 3)에 최적화된 인라인 검사 시스템
• 매크로 검사(macro), 마이크로 검사(micro) 또는 두 가지의 결합(fusion)으로 이용 가능
• 지속적인 생산 모니터링을 위해 설계된 준실시간 데이터 수집 및 평가
• 단일 실행으로 웨이퍼 전체(100%) 검사 가능
• 여러 측정 방법을 대체: 별도의 FT-IR, SEM, LIBS, X-ray 또는 AFM 측정 불필요
• 300 µm(매크로)부터 서브 마이크론(마이크로)까지의 공간 분해능
• 최대 300mm 웨이퍼 지원
• SEMI S2, S8 및 S14 표준 인증 획득
• 다양한 맞춤 설정 옵션