LuXpector THEA

• 비용 효율적인 운영: 지능형 설계, 모듈식 구성 요소 및 낮은 유지보수 요구 사항을 통해 총 소유 비용(TCO)을 절감합니다.
• 내장된 서비스 편의성: 모듈식 설계, 원격 지원 및 유지보수가 적은 하드웨어로 높은 가동률과 손쉬운 서비스를 보장합니다.
• 사용자 친화적인 인터페이스: 엘립소메트리 경험이 없더라도 자동 보정 및 분석 기능을 갖춘 직관적인 인터페이스를 통해 간편한 작동을 보장합니다.
• 유연한 통합: SEMI 자동화 및 SECS/GEM을 지원하여 R&D 또는 생산 라인 통합에 이상적입니다.
• 후면 반사 없음: (SiC) SiC 웨이퍼에 대한 정확한 박막 분석을 통해 후면 반사로 인한 오류를 제거하여 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다. 
• AlGaN 농도: 첨단 밴드 에지 분석을 통해 AlGaN 층의 알루미늄 함량을 정확하게 측정합니다.