SAM Auto Tray

주요 적용 분야로는 본딩 계면 내의 공극, 내포물 및 박리 현상 검출은 물론, 다층 구조에서 층 두께 편차를 식별하는 것이 포함됩니다. 이러한 결함은 부품의 서로 다른 층에서 발생할 수 있습니다. 대량 생산에서는 높은 처리량이 필수적입니다. 따라서 독자적인 소프트웨어를 통해 여러 층을 동시에 검사할 수 있습니다. 또한, 다중 트랜스듀서, 트레이 전체 스캐닝 및 최적화된 트레이 핸들링 기능을 제공합니다.

SAM Auto Tray - 주요 기능

SAM Auto Tray는 인라인 공정 진단 및 공정 제어를 위한 맞춤형 솔루션으로, 다음과 같은 기능을 통해 모든 생산 환경에 통합될 수 있습니다:

• JEDEC 트레이에 대한 인라인 검사
• 클래스 10까지의 클린룸 호환성
• 통합 데이터 분석 및 자동화
• SECS 인터페이스를 통한 소프트웨어 및 팹 통신
• 공정용수를 위한 탈기 시스템
• 전도도 모니터링을 통한 자동 물 교체