SIRD

• 로봇이 캐리어에서 측정 스테이지로 웨이퍼를 이송합니다. 캐리어는 작업자가 직접 배치하거나 OHT를 통해 자동으로 배치할 수 있습니다.
• 이 장비는 소재의 도핑 등급과 관계없이 최적의 측정 설정을 위해 자동으로 튜닝됩니다.
• 데이터는 관심 영역, 해상도 및 측정 모드를 상세히 명시한 사전 정의된 측정 프로토콜에 따라 기록됩니다.
• 측정이 끝나면 웨이퍼는 캐리어로 되돌아가며, 측정된 맵에 대한 자동 분석이 시작됩니다.
• 결함 유형별 또는 강도별 결함 수와 같은 수치 데이터 및 사용자 정의 가능한 보고서가 생성되며, 원하는 경우 표준 SECS/GEM 프로토콜을 통해 호스트로 전송됩니다.