µSI 기능이 탑재된 LiquidPrep 800은 반도체 제조 및 초순도 화학 공정에서 요구되는 까다로운 ICP-MS 분석 요건을 충족하도록 설계되었습니다. 교정, 시료 희석 및 시료 주입 과정을 자동화함으로써 모든 핵심 단계에서 수동 개입을 줄여, 고순도 환경에서 요구되는 일관성과 정확성을 보장합니다.
장점
µSI는 최종 전처리 단계와 측정 단계 사이의 액체 이송 경로를 최소화하기 위해 ICP-MS 바로 인근에 배치된 시료 주입 모듈입니다. 이러한 설계는 시료 전처리가 완료된 후 발생할 수 있는 오염 위험을 줄여주며, 보다 청정한 이송 조건에서 ICP-MS로 시료를 주입할 수 있도록 지원합니다. µSI는 최종 주입 단계에서의 노출을 제한함으로써 초미량 분석을 위한 시료의 무결성을 유지하는 데 기여합니다.
| 측정 기술 | ICP-MS (유도 결합 플라즈마 질량 분석법) |
| 시료 용량 범위 | 500 µl ~ 500 ml |
| 화학 물질 | HF, HNO₃, H₂O₂, HCl 및 기타 산* |
| 클린룸 요건 | ISO 3 등급 이상 |
| 상대 습도 | 50–60 %, 비응결 상태 |
| 온도 | 18–24 °C |
| 전원 사양 | 200–230 V AC, 50/60 Hz, 3 A |
| 인증 | CE, SEMI S2 |
| *다른 화학 물질과 함께 사용하려면 제조사에 문의하십시오. |
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