FAQs Scanning Acoustic Metrology
Was ist ein B-Scan?
Ein B-Scan ist eine tiefenauflösende Aufnahme des Querschnitts einer Probe in X-Richtung. Er ermöglicht die Darstellung innerer Strukturen entlang einer definierten Linie.
Was ist ein C-Scan?
Ein C-Scan ist ein tiefenauflösendes Schichtbild einer Probe in X- und Y-Richtung. Er liefert eine flächige Darstellung innerer Strukturen des Bauteils auf einer bestimmten Tiefenebene.
Was ist ein X-Scan?
Ein X-Scan ermöglicht das simultane Erzeugen mehrerer C-Scans. Dadurch können größere Probenbereiche effizient und in kürzerer Zeit analysiert werden.
Was ist ein Z-Scan?
Ein Z-Scan ist eine Aufnahme dreidimensionaler Datensätze. Er ermöglicht eine vollständige volumetrische Analyse der Probe und liefert räumliche Informationen über innere Strukturen.
Was ist ein Koppelmedium?
Ein Koppelmedium wird benötigt, um Proben mit dem Ultraschallmikroskop zu untersuchen. Da Luft Ultraschall stark dämpft, verwendet PVA TePla deionisiertes Wasser als Koppelmedium. Flüssigkeiten weisen eine geringe Dämpfung für Ultraschall auf, wodurch sichergestellt wird, dass möglichst hohe Frequenzen in das Prüfobjekt eindringen und optimale Ergebnisse erzielt werden können.
Was ist DI-Wasser?
DI-Wasser ist deionisiertes Wasser, das bei der Ultraschallmikroskopie als Koppelmedium eingesetzt wird. Durch die Entfernung von Ionen wird eine optimale Schallübertragung gewährleistet.
Was ist die Flugzeit (Time of Flight, TOF)?
Die Flugzeit beschreibt die Darstellung eines Höhen- bzw. Tiefenbildes auf Basis der Laufzeit des Ultraschallsignals. Sie ermöglicht präzise Aussagen über die Tiefenlage von Strukturen innerhalb einer Probe.
Was ist ein Transducer?
Der Transducer – auch Wandler oder Energiewandler genannt – ist das Herzstück des Ultraschallmikroskops. Er wandelt elektrische Energie in Schallwellen um und empfängt die reflektierten Signale für die Bildgebung.
Was ist ein Wafer?
Ein Wafer ist eine dünne Grundplatte, die aus Ingots hergestellt wird. Er dient als Substrat für elektronische Bauteile oder photoelektrische Beschichtungen und ist ein zentrales Element in der Halbleiterfertigung.
Was ist ein Wasserfalltransducer?
Ein Wasserfalltransducer benetzt das zu prüfende Bauteil mithilfe einer Düse mit DI-Wasser. Dadurch wird eine gleichmäßige akustische Kopplung zwischen Transducer und Probe ermöglicht, ohne das Bauteil vollständig in Wasser eintauchen zu müssen.