Fortschrittliche Materialprüfung

Metrologie-Services
Lab worker operates scanning acoustic microscopy process in a clean, bright laboratory while another person walks in the background.

Metrologie-Service

Gewinnen Sie präzise Einblicke in Ihre Materialien und Bauteile mit dem fortschrittlichen Metrologie-Service von PVA TePla. Wir bieten hochauflösende, zerstörungsfreie Charakterisierung zur Unterstützung von Forschung, Prozessoptimierung und Qualitätssicherung in der Halbleiter- und Advanced-Materials-Branche.

 

In enger Zusammenarbeit mit unseren Kunden entwickeln wir maßgeschneiderte Messstrategien, individuelle Prüfprotokolle und klare Auswertungsverfahren. Unser Applikationslabor verarbeitet ein breites Spektrum an Materialien, darunter Si, GaAs, GaN, SiC und InP – sowie Wafergrößen bis zu 450 mm.

 

Alle Messungen beinhalten professionelle grafische Auswertungen und detaillierte Prüfberichte. Mit modernsten Softwaretools und kundenspezifischen Auswertungsschemata gewährleisten wir konsistente, quantitative und vergleichbare Ergebnisse.

Metrologie-Dienstleistungen im Überblick

C-Scan-Modus der Scanning Acoustic Microscopy. Planare Kartierung einer IC-Probe – delaminierte Bereiche sind rot dargestellt.

Scanning Acoustic Microscopy

Hochauflösende akustische Bildgebung für die Detektion innerer Fehler und Materialgrenzflächen.

Scanning Acoustic Microscopy

Scanning InfraRed Depolarization

Schnelles Wafer-Mapping zur Erkennung von Kristalldefekten und Spannungen.

Scanning Infrared Depolarization