Globale Expertise und lokaler Support

Unser Frontend-Labor umfasst einen Reinraum der Klasse 100, in dem mehrere Konfigurationen unserer neuesten Batch- und Einzelwafer-Systeme in Betrieb sind. Diese Anlagen werden für Anwendungen wie Fotolackentfernung, Stretch-Relief-Ätzung und andere Frontend-Plasmaprozesse eingesetzt.

Unser Frontend-Team bietet praxisnahe Unterstützung, um kritische Plasmaschritte zu optimieren und stabile, reproduzierbare Ergebnisse zu erzielen. Wir arbeiten eng mit Ihnen zusammen, um Prozesse zu verfeinern, Parameter zu validieren und eine zuverlässige Leistung für Ihre Frontend-Anwendungen sicherzustellen.

Unser Backend-Bereich verfügt über Batch- und Einzelsubstrat-Plasmaanlagen mit Mikrowellen- und Hochfrequenzanregung (>13,56 MHz). Zudem steht ein dediziertes System für die Kantenätzung von Solarzellen zur Verfügung, das ein breites Spektrum industrieller Anwendungen unterstützt.

Unsere Backend-Spezialisten unterstützen Sie bei der Entwicklung und Verbesserung von Plasmaprozessen für fortschrittliche Bauteilstrukturen. Von der Fehleranalyse bis zur Prozessoptimierung helfen wir Ihnen, hochwertige Ergebnisse zu erzielen und eine konsistente Performance in Ihren Backend-Workflows sicherzustellen.

Metrologie-Systemsupport, einschließlich laserbasierter und Oberflächenkontaminationsanalyse, wird in unserem Labor in Jena (Deutschland) bereitgestellt und gewährleistet eine präzise Charakterisierung Ihrer Materialien und Bauteile.

Unsere Metrologie-Experten unterstützen Sie bei der Bewertung von Materialien, der Interpretation von Ergebnissen und der Entwicklung maßgeschneiderter Messstrategien. Wir stellen sicher, dass Ihre Charakterisierungsprozesse klare, handlungsorientierte Erkenntnisse für fundierte Entscheidungen liefern.