Hyperspectral Vision

Das Unsichtbare verstehen
Die Hyperspectral-Vision-Technologie von PVA ermöglicht eine umfassende, zerstörungsfreie und schnelle Inspektion von Beschichtungen, Dünnschichten und Oberflächen.
 

Inspektion der Schichtabscheidung
Das (großflächige) Abscheiden von Dünnschichten in der Industrie erfordert eine präzise Kontrolle z. B. der Schichtdicke, der Homogenität, der chemischer Zusammensetzung, der Kristallinität und der Oberflächenrauheit. Um diese Eigenschaften in Echtzeit zu bestimmen, ist die Hyperspectral-Vision-Technologie als neuartiges, kostengünstiges und schnelles Werkzeug hervorragend geeignet. Hyperspectral Vision kann dann dabei sowohl inline als auch für die großflächige Qualitätskontrolle eingesetzt werden. 

 

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Inspektion für Schicht- und Oberflächenmodifikationen

Beschichtungen und Oberflächenmodifikationen sind in der Industrie von entscheidender Bedeutung, da sie einem Bauteil auf sehr kosteneffiziente Weise neue Funktionen hinzufügen. Dies muss mit einer genauen Überwachung der Prozessparameter und Modifikationsergebnisse einhergehen. Hyperspectral Vision bietet umfassende Einblicke in den Zustand der Oberfläche, z. B. der Benetzbarkeit, von Adsorptionseigenschaften, der Phasenzusammensetzung oder von Parametern wie der Eindringtiefe der Modifikation.

Inspektion der Oberflächenreinigung

Reinigungsprozesse, und mithin die Sauberkeit von Oberflächen, haben einen großen Einfluss auf den Gesamterfolg eines Fertigungsprozesses und die Ausschussquote. Die Hyperspectral-Vision-Technologie bietet die einzigartige Möglichkeit, zerstörungsfrei bzw. berührungslos, umfassende Erkenntnisse über mögliche Rückstände aus Fertigungsprozessen oder nach Reinigungsschritten zu liefern. Zeitaufwändige Einzelpunktmessungen (z. B. XPS, AES) können ersetzt und die Qualitätskontrolle beschleunigt werden.

Die Funktion

Die Hyperspectral Vision Systeme von PVA erfassen Daten als „Hypercube“, und ermöglichen eine schnelle und zerstörungsfreie Inspektion der gesamten Probe. Die Software untersucht und bearbeitet die Daten dann mithilfe fortschrittlicher Algorithmen für maschinelles Lernen und liefert dem Benutzer direkt umsetzbare Erkenntnisse.

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Industrien im Fokus

Halbleiter

Die Hyperspectral‑Vision‑Technologie von PVA ermöglicht eine Waferinspektion in weniger als 20 Sekunden und liefert ortsaufgelöste Daten zu Schichtdicken von 2 nm bis 300 µm, zu Kontaminationsniveaus sowie zu Oberflächeneigenschaften. Als optikbasierte Technologie ist sie für den Einsatz an Produktionswafern geeignet.

Sie bietet eine schnelle, berührungslose und umfassende Inspektion der Integrationsqualität von Halbleitern oder der Bestückungsqualität von Leiterplatten. Weiterhin liefert sie ortsaufgelöste Daten, beispielsweise zu Rückständen von Lotpaste, Ölen und Fetten sowie zu Oberflächenzuständen wie Oxidationsgraden.

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Energie

Durch die Hyperspectral‑Vision‑Technologie wird eine schnelle, berührungslose und umfassende Inspektion der Korrosionsschutzschicht auf Bipolarplatten ermöglicht. Sie liefert ortsaufgelöste Daten zur Schichtdicke, Homogenität und zu Defekten über die gesamte Bipolarplatte hinweg.

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Luft- und Raumfahrt

Die Qualitätsprüfung von Komponenten in der Luft‑ und Raumfahrt sowie der Verteidigungstechnik wird durch die Hyperspectral‑Vision‑Technologie schnell, berührungslos und umfassend ermöglicht. Sie liefert ortsaufgelöste Daten zur Integrität von Schutzbeschichtungen, zur Dünnschichtdicke an Turbinenschaufeln, zu Oberflächenverunreinigungen in Klebebereichen sowie zu Oxidationszuständen und Materialzusammensetzungen von Strukturlegierungen.

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Medizin

Mit der Hyperspectral‑Vision‑Technologie wird eine schnelle, berührungslose und umfassende Qualitätsinspektion von Medizinprodukten und Komponenten erreicht. Sie liefert ortsaufgelöste Daten, beispielsweise zur Dicke und Gleichmäßigkeit biokompatibler Beschichtungen auf Implantaten, zu Rückständen aus Fertigungsprozessen sowie zur Überprüfung der Oberflächenreinheit chirurgischer Instrumente.

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Umfassende Oberflächenanalyse

Mit ganzheitlichen Hyperspectral-Vision-Systemen unterstützt PVA Hersteller dabei, Qualität, Funktionalität und Kosteneffizienz in industriellen Prozessen zu gewährleisten.

Schnell
Die Systeme von PVA erfassen Oberflächeneigenschaften, Verunreinigungen und Abweichungen von den Produktionsspezifikationen umfassend und schnell (durchschnittliche Messzeit weniger als 20 s), anstelle von zeitaufwändigen Einzelpunktmessungen.

Umfassend
Die Systeme von PVA steigern den Informationsgehalt mit nur einem umfassenden Inspektionsschritt um ein Vielfaches, im Vergleich zu Einzelpunkt- und Stichprobenmessungen wie FT-IR-, GD-OES-, TEM/SEM-, LIBS-, Röntgen-, Kontaktwinkel- oder AFM-Messungen. Es wird sofort die vollständige Probenoberfläche (100 %) erfasst.

Zerstörungsfrei
Die Systeme von PVA sind eine einzigartige Kombination aus optischer Spektroskopie und Bildgebung, zur objektiven und zerstörungsfreien Bewertung der gesamten Probenoberfläche.

Alle Hyperspectral Vision-Systemlösungen werden mit der KI-basierten Software VEsolve® pro auf Ihre Bedürfnisse angepasst.

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FAQs

Was wird benötigt, um die Hyperspectral Vision Lösungen von PVA zu nutzen?

Für den Anschluss einer VEpioneer®- oder VEreveal-Lösung sind eine Ethernet-Verbindung (Standard RJ45) sowie ein Stromanschluss erforderlich. Alle Lösungen können von nahezu jedermann ohne Vorkenntnisse bedient werden. Bei Bedarf bietet PVA auch Beratung zu weiterführenden Schulungen und Support an.

Wie viel kosten die Hyperspectral Vision Lösungen von PVA?

Die Kosten unserer Lösung variieren je nach den spezifischen Bedürfnissen und Anforderungen des jeweiligen Kunden. Generell ist der VEpioneer® als standardisierte Tischlösung zu einem günstigeren Preis erhältlich als die In-Line-Modullösung VEreveal. Für ein individuelles Angebot kontaktieren Sie uns bitte mit Ihren Projektdetails.

Wie gibt die Software VEsolve® von PVA die Ergebnisse aus?

VEsolve® ist nutzerzentriert gestaltet. Einerseits stehen dem Kunden alle Möglichkeiten zur Datenvorbereitung und Modellerstellung mit dem VEpioneer® zur Verfügung. Andererseits hilft der Bedienermodus in Kombination mit der VEreveal-Lösung dabei, effektiv zu entscheiden, ob ein geprüftes Bauteil in Ordnung ist oder nicht. Darüber hinaus können die Ergebnisse als vollständige Hyperwürfel gespeichert werden, es lassen sich jedoch auch einzelne Grafiken, Tabellen und Bilder extrahieren.

Mit welcher (räumlichen) Auflösung werden Proben durch VEpioneer® / VEreveal gemessen?

Unsere Tischlösung VEpioneer® ist standardmäßig für eine räumliche Auflösung von 300 µm ausgelegt. Dies ist jedoch Teil der Individualisierungsmöglichkeiten, die wir anbieten, um eine optimal angepasste Lösung zu gewährleisten.

Kann ich einen VEpioneer®-Probentisch für meine spezifischen Anforderungen erhalten?

Ja, der Probentisch wird jeweils individuell an die Bedürfnisse des Kunden angepasst. Unsere Produktdatenblätter mit detaillierten technischen Spezifikationen stehen auf den Webseiten der jeweiligen Lösungen zum Download bereit.

Wie schnell erfassen VEpioneer® / VEreveal Daten von einer Probe?

Innerhalb von Sekunden – so scannt der VEpioneer® beispielsweise eine 300 x 300 mm große Probe in nur 20 Sekunden. Die Erfassungsgeschwindigkeit der VEreveal-Lösung wird jedoch individuell an den Fertigungsprozess und die jeweiligen Probengrößen angepasst. Mithilfe vordefinierten Machine-Learning-Modellen werden die Prüfergebnisse unmittelbar in unserer VEsolve® Pro Software angezeigt.

Hyperspectral-Vision-Technologie im Überblick

VEpioneer

Die VEpioneer®-Serie ist das weltweit erste vollständig integrierte Tischgerät mit One-Click-Bedienung für die makroskopische oder mikroskopische Hyperspectral-Vision-Inspektion. Es erfasst Oberflächeneigenschaften, detektiert Dünnfilme und identifiziert Abweichungen von Produktionsspezifikationen.

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VEreveal, industrielles Inspektionssystem mit Monitor, Bedienpanel, Signalleuchte und Wafer-Handler.

VEreveal

Die VEreveal®-Serie bietet Inline-Hyperspectral-Vision-Systeme für den Einsatz in der Halbleiterfertigung. Die Systeme ermöglichen makroskopische Inspektion, mikroskopische Inspektion oder eine Kombination aus beidem. Sie erfassen Oberflächeneigenschaften, detektieren Verunreinigungen und identifizieren Produktionsabweichungen – und ersetzen dabei mehrere konventionelle Messmethoden in einem einzigen System

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VEgauge, Inline-Inspektionssystem mit Förderband und kompakter Steuereinheit.

VEgauge

Die VEgauge®-Serie bietet PVAs einzigartige Hyperspectral-Vision-Technologie für die kontinuierliche makroskopische oder mikroskopische Inline-Inspektion. Das System erfasst effizient Oberflächeneigenschaften, detektiert Dünnfilme und identifiziert Abweichungen von Produktionsspezifikationen.

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VEsolve Software

VEsolve® PRO ist die leistungsstarke All-in-One-Software-Suite für die Hyperspectral Vision-Technologie von PVA, die die Erfassung, Überprüfung und Auswertung von Hyperspectral Vision-Daten umfasst.

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