Hochautomatisierung

CGS1218

Fortschrittliche Automatisierung mit SPS-Steuerung, Rezepturverwaltung, kamerabasierter Durchmesserüberwachung und Sicherheitsverriegelungen reduzieren den Bedienereingriff, maximiert den Durchsatz und unterstützt einen kontinuierlichen, wartungsarmen Betrieb. 

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Sichtfenster einer Czochralski-Kristallzuchtanlage mit Blick auf interne Komponenten.
Czochralski-Kristallzuchtsystem mit automatisierter Handhabung und hochpräziser Prozessausrüstung.
Technische Daten
Max. Ingot-Durchmesser12" - 18"
Ingot-Länge2.800 mm
TragkraftBis zu 450 kg
Hot Zone32" - 36"


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Gesamthöhe (geschlossen)13.900 mm (10.000 mm Kabelversion) + Sockel
Gesamthöhe (geöffnet)113.900 mm (10.000 mm Kabelversion) + Sockel
BreiteCa. 3.300 mm (Ca. 5.000 mm mit ausgeschwenkten Kammern)
TiefeCa. 3.000 mm (Ca. 4.300 mm mit ausgeschwenkten Kammern)

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