Berührungslose Kristallzucht zur Materialanalyse
Kleine polykristalline Proben aus dem Produktionsprozess werden in einer Argon-Atmosphäre induktiv geschmolzen und kristallisieren an einem an einem Impfkristall zu einem Monokristall. Dieser wird anschließend mittels spektrometrischer Methoden analysiert. Dadurch kann die Qualität des produzierten Polysiliziums bestimmt und dokumentiert werden. Durch das berührungslose Aufschmelzen - das hohe Endvakuum erzeugt durch den Einsatz einer Turbomolekularpumpe und den Einsatz von hochreinem Argon als Prozessatmosphäre - werden Verunreinigungen während des Prozesses effektiv verhindert.
In der Version FZ-14MG besteht die Möglichkeit, Siliziumgranulat unterhalb der Spule zu platzieren und mithilfe eines Impfkristalls am oberen Vorschub in einem Prozess mit umgekehrter Ziehrichtung Monokristalle zur Materialanalyse zu ziehen. Dazu kann die obere Spindel sowohl in X- als auch in Y-Richtung verschoben werden.
| Kristallziehlänge | 350 mm |
| Kristalldurchmesser | Bis zu 25 mm |
| Endvakuum | 2,5 x 10-5 mbar |
| Max. Überdruck | 2 bar (g) |
| Material: Silizium |
| Höhe | 3.000 mm |
| Breite | 1.020 mm |
| Tiefe | 1.640 mm |
| Stellfläche (gesamt) | 1.800 mm x 4.000 mm |
| Gewicht (gesamt) | Ca. 2.500 kg |
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