Präzise Prozesskontrolle und höchste Reinheit

Der Kristalldurchmesser und die Höhe der flüssigen Zone können mittels mittels einer Kamera während des Prozesses überwacht werden. Durch das berührungslose Aufschmelzen - das hohe Endvakuum erzeugt durch den Einsatz einer Turbomolekularpumpe und den Einsatz von hochreinem Argon als Prozessatmosphäre - werden Verunreinigungen während des Prozesses effektiv verhindert.

Züchtung großer Kristalle

Zur Züchtung großer Kristalle kann eine Argon-Atmosphäre in der FZ-35 mit bis zu 5 bar Überdruck erzeugt werden. Sowohl die obere Spindel als auch die Spule können automatisch positioniert werden. Es besteht zusätzlich die Möglichkeit, neben Argon gezielt Stickstoff in die Prozesskammer einzulassen. Optional erhältlich sind ein Gas-Doping-System zur Dotierung der Kristalle, ein geschlossenes DI-Kühlwassersystem, ein Formgeber (Shaper) zur Bearbeitung der Source Rods sowie ein System zum Justieren der Orientierung des Impfkristalls.