Besondere Merkmale
Für maximale Anwenderfreundlichkeit ist das System optional mit einem mobilen Be- und Entladesystem erhältlich. Das erleichtert die Handhabung und sorgt für einen effizienten und sicheren Betrieb. Darüber hinaus sind die hochpräzise Temperaturkontrolle bzw. präzise Steuerung des Temperaturgradienten hervorzuheben. Die exakten Werte richten sich nach dem jeweiligen Materialsystem.
Kronos bietet eine leistungsstarke und zuverlässige Lösung für die Kristallherstellung nach dem VGF-Verfahren – perfekt ausgerichtet auf die Anforderungen moderner Halbleiter- und Materialtechnologien.
| Tiegeldurchmesser | 4‘‘ – 6‘‘ |
| Tiegelhöhe | Bis zu 450 mm |
| Kesseldurchmesser | 800 mm |
| Kesselhöhe | 975 mm |
| Betriebsdruck | Max. 40 bar |
| Anzahl Heizer | 4 |
| Materialien | Galliumarsenid, Indiumphosphid |
| Höhe | Ca. 3.800 mm (ohne optional verfügbare Temperaturprofil-Messeinheit) |
| Breite | Ca. 1.920 mm |
| Tiefe | Ca. 3.000 mm |
| Gewicht (total) | Ca. 6.000 kg |
| Empfohlene Deckenhöhe | Mind. 5.000 mm (für die Abnahme des oberen Kammerdeckels) |
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